詰んだかと思ったら治りました。
エラーメッセージ
バックアップが壊れているか、復元対象のiPhoneと互換性がないため、バックアップを作成できませんでした。
このiPhoneのバックアップを削除してからやり直して下さい。
対処法その1:iTunesからバックアップを削除
iTunes→環境設定→デバイス→対象のバックアップを選択して削除

普通はこれで治るはずです。が、治りませんでした。
対処法その2:Finder上でバックアップのファイルを削除
Finderからバックアップファイルを直接削除してみます。

/Users/ユーザー名/Library/Application Support/MobileSync/Backup/
内にある英数字がばーっと並んでいるフォルダを削除。
バックアップできた

すると無事バックアップできました。お疲れ様でした。
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